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衍射光學(xué)器件(DOE)設(shè)計(jì)與加工
時(shí)間:2025-01-08 11:47來源:訊技光電作者: 營銷部點(diǎn)擊:次打印
衍射光學(xué)器件(DOE),又稱二元光學(xué)元件,主要用于激光束的整形。通過DOE元件可以將一束激光整形成平頂光束,或者矩陣、柵格、線形、圓形、點(diǎn)陣等各種圖案。DOE廣泛用于激光加工、醫(yī)療、成像系統(tǒng)、傳感器等領(lǐng)域。 尤其是在結(jié)構(gòu)光3D攝像頭中,使用DOE將一束紅外激光大角度整形成光斑點(diǎn)陣,用于人臉識(shí)別、深度感測等功能,市場前景廣闊。
針對各類衍射和微納光學(xué)器件,通過應(yīng)用VirtualLab Fusion內(nèi)置的迭代傅里葉變換算法(Iteration Fourier Transform Algorithm,IFTA)能夠快速的實(shí)現(xiàn)各類衍射微納光學(xué)器件的設(shè)計(jì)和優(yōu)化,并進(jìn)行公差分析(如對齊、加工高度以及倒角等),最后導(dǎo)出GDSII文件以用于DOE的加工。
目前,我們主要采用納米壓印、光刻技術(shù)加工DOE,可以提供從定制化設(shè)計(jì)、模具制造、工藝開發(fā)、批量生產(chǎn)的全套服務(wù)。可以實(shí)現(xiàn)納米級(jí)、高深寬比、多階等高難度DOE結(jié)構(gòu)的定制加工。
 

基于VirtualLab Fusion所設(shè)計(jì)的DOE結(jié)構(gòu)
基于納米壓印加工技術(shù)所加工出來的DOE結(jié)構(gòu)
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