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衍射光學(xué)元件的產(chǎn)生及其結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)的輸出(3)
時間:2011-08-25 09:51來源:訊技光電作者: 技術(shù)部點擊:次打印
830*830nm

—口徑:1*1mm

—周期:664,83*664,83um

²       結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)輸出為二進(jìn)制格式

²       需要的高度分布計算

²       蝕刻掩模分解

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