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² 下面部分可以定義結構的數(shù)據(jù)格式

 

² VirtualLab產(chǎn)生兩種不同類型的文件:

 

—參數(shù)匯總文件包括大部分輸入?yún)?shù)的概括,如蝕刻深度,設計波長,元件名稱等等。數(shù)據(jù)可以存儲為.xml, .html或者

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