衍射光學元件（Diffractive Optical Element, DOE）,又稱為二元光學元件（Binary Optical Element）,其基于光的衍射理論，通過計算機輔助技術(shù)，設(shè)計出純相位、具有極高的衍射效率的一類光學器件，并通過微納加工過程中的光刻和刻蝕技術(shù)，加工出具有兩臺階或多臺階甚至是連續(xù)形狀的浮雕結(jié)構(gòu)。其具有體積小、重量輕、易復制、設(shè)計自由度高等優(yōu)點，能夠?qū)崿F(xiàn)陣列化，集成化以及任意的波面轉(zhuǎn)換，廣泛用于激光材料加工，生物醫(yī)學設(shè)備，光刻和全息照明、光學傳感、結(jié)構(gòu)光以及通信等領(lǐng)域。
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