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干涉測量的非序列仿真

Mirau干涉測量法是一種眾所周知的技術(shù)，它可以以高達(dá)所用波長的百分之一的精度測量表面。為了充分研究和設(shè)計(jì)這樣的系統(tǒng)，非順序仿真方法很有幫助，因?yàn)樗鼤?huì)自動(dòng)將系統(tǒng)內(nèi)部反射產(chǎn)生的干涉效應(yīng)考慮在內(nèi)。
 

因此，本周我們不僅展示了這樣一個(gè)裝置，還通過研究不同形狀標(biāo)準(zhǔn)具的干涉效應(yīng)來詳細(xì)闡述了測量原理。
 

Mirau 干涉儀的仿真
 

 

在此用例中，我們通過非序列通道概念在 VirtualLab Fusion 中設(shè)置 Mirau 干涉儀，仿真了典型的干涉條紋圖案。

 

具有平面或曲面的標(biāo)準(zhǔn)具建模

 

 

我們設(shè)置了具有平面和曲面的光學(xué)標(biāo)準(zhǔn)具。利用非序列場追跡技術(shù)，研究了干涉條紋的差異。