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集成微透鏡陣列的CMOS傳感器分析

通過連續(xù)減小CMOS傳感器的像素尺寸，近幾十年來已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了越來越好的空間分辨率，并且這種趨勢有望繼續(xù)。但是，這便將關(guān)注點(diǎn)放到位于每個(gè)像素頂部的微透鏡上。當(dāng)像素尺寸接近波長時(shí)，微透鏡是否仍可以按預(yù)期聚焦光線？我們在選定的示例中使用VirtualLab Fusion研究了此問題。

 

集成微透鏡陣列的CMOS傳感器分析
 

 

使用嚴(yán)格的FMM / RCWA，我們模擬了像素大小等于或小于2 µm的CMOS傳感器，尤其是研究了微透鏡的有效性。

 

使用界面配置光柵結(jié)構(gòu)

 

 

在VirtualLab Fusion中，光柵結(jié)構(gòu)是在“堆棧”中配置的，根據(jù)光柵的幾何形狀，可以用一系列界面或特殊介質(zhì)構(gòu)造光柵結(jié)構(gòu)。在這種使用情況下，說明了基于界面的光柵結(jié)構(gòu)的配置。

 

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