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邁克爾遜干涉儀和光學(xué)計(jì)量學(xué)

自從1887年著名的邁克爾遜-莫雷實(shí)驗(yàn)開(kāi)始，邁克爾遜干涉儀及其變種在光學(xué)研究中發(fā)揮著重要作用。如今，人們?nèi)匀唤?jīng)常可以找到以邁克爾遜干涉儀形式配置的光學(xué)系統(tǒng)，例如相干掃描干涉儀。借助VirtualLab Fusion，尤其是在非序列場(chǎng)追跡的幫助下，我們展示了邁克爾遜白光干涉儀的工作原理，并展示了其如何應(yīng)用于光學(xué)計(jì)量學(xué)。

 

邁克爾遜干涉儀 

 

在充分考慮氙氣燈光源的光譜特性（即有限的相干長(zhǎng)度）基礎(chǔ)上建模具有氙氣燈的邁克爾遜干涉儀。
 

光學(xué)層析掃描干涉儀

 

使用低相干氙氣燈，建立一個(gè)邁克爾遜干涉儀，用以精確掃描給定樣品的表面輪廓。