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干涉光學(xué)測試

光學(xué)干涉裝置廣泛用于精密的表面或波前測試和細節(jié)分析，特別是菲索干涉儀作為工業(yè)上應(yīng)用最廣泛的表面輪廓檢測技術(shù)之一，正占據(jù)著重要的地位。我們在VirtualLab Fusion中構(gòu)建了一個基于斐索干涉儀的測試光學(xué)系統(tǒng)，使用幾種類型的表面作為測試對象，并觀察不同的干涉條紋。此外，還介紹了用于鏡頭測試的馬赫-曾德爾干涉儀。 
 

用于光學(xué)測試的菲索干涉儀
 

 

利用非序列場追跡技術(shù)建立了菲索干涉儀，給出了不同測試表面的干涉條紋。
 

馬赫-曾德爾干涉儀

 

 

我們在VirtualLab Fusion中構(gòu)建了馬赫-曾德爾干涉儀，并演示了元件的傾斜和偏移對干涉條紋的影響。

 

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