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用于測(cè)量光學(xué)元件散射光的儀器-散射儀(2)

時(shí)間:2015-03-23 21:35來(lái)源:訊技光電作者: 營(yíng)銷部點(diǎn)擊:次打印

• 評(píng)估/檢查ISO17025認(rèn)證

• EMC測(cè)試（電磁兼容性）

• 儀器零件的機(jī)械制圖和CAD文件

• 光學(xué)零件的數(shù)據(jù)表

• ZEMAX文件

• 電路圖

• 單一零件列表

圖2：散射幾何：極角和散射方位角，入射角以及坐標(biāo)

圖3：ALBATROSS儀器，將EUV收集器反射鏡安裝在樣品定位系統(tǒng)上用于粗糙度測(cè)量和繪制整個(gè)表面

圖4：在不同波長(zhǎng)下的儀器測(cè)試以及超光滑玻璃基底在523nm下的ARS

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