光的散射特性對高端光學表面、膜層和材料的發(fā)展起著至關重要的作用。對于光學表面，常常用粗糙度來確定光學表面受散射影響后的光學特性。對于諸如不均勻體、亞表面損傷和局部缺陷的散射常常會忽略掉，而這些來源的散射對系統(tǒng)有很大的影響，所以需要一個能在終端借測散射性質的儀器來解決這一問題。在有些應用中，可以觀察到由粗糙度直接過渡到散射的設置。
測量高性能光學元件的散射光對儀器的要求非常嚴格，主要要求概括如下：
￭ 在相關的波長下進行測量（尤其是膜層）
￭ 高動態(tài)范圍（對于可見光光學至少需要11個數(shù)量級）
￭ 高靈敏度（對于可見光光學等效噪聲ARS <10-6 sr-1），散射損耗在ppm級，粗糙度在亞納米量級
￭ 小近角限值（對于成像應用<1°）
￭ 3D功能（在入射面內外測量）
￭ 測量達到彎曲樣品的能力以及繪制大的采樣區(qū)間
為達到這些要求，對用在儀器中的組件和程序有更好的要求，如：
￭ 高機械精度和測角儀系統(tǒng)的高穩(wěn)定性，需要考慮由重力造成的彎曲效應
￭ 盡可能少的固有散射和雜散光的光束發(fā)生系統(tǒng)
￭ 低噪聲、高靈敏度和在整個動態(tài)范圍成線性的檢測系統(tǒng)
￭ 強大的測量和校準系統(tǒng)
￭ 可靠的不確定分析
由Fraunhofer IOF開發(fā)的散射儀的測量精度要遠遠超出傳統(tǒng)的測角光度計，該測量可以直接與我們用實驗室的設備測出來的結果聯(lián)系起來，通過測量儀器的特征可以證實儀器的性能。該系統(tǒng)是目前市場上唯一一個滿足上述要求測量高性能光學元件的儀器，對比由美國Schmitt生產的CASI它有有利的競爭力，它不局限與小樣品和平面內的測量。
Fraunhofer IOF面對的客戶是企業(yè)、研究所和大學，我們提供標準的設備并提高針對于特定任務的解決方案。其中一個用戶這樣總結道：“我是歐洲航天局光學實驗室ESTEC在荷蘭地區(qū)的副經理Dominic Doyle，最近我們購買了由Fraunhofer IOF開發(fā)的ALBATROSS-TT 3D角分辨散射測量儀，之所以選擇IOF為供應商是因為他們在這一領域中的超絕能力以及在ARS和BRDF測量技術和散射分析上的出色的專業(yè)技能，我們非常高興購買這一儀器，并毫不猶豫向精密光學及光學機械等領域推薦ALBATROSS-TT散射儀。
散射儀ALBATROSS-TT的工作臺顯（基于激光的透射率、反射率和光散射測量）示在圖1中。在ASTM E2387中，它提供光學和非光學表面的角分辨光散射、反射率和透射率、膜層和材料的高精度測量，測量直徑高達200mm，并可以提供多個波長。在此我們在第3頁至第5頁引用了最新的一代儀器的詳細說明書和選項。
圖1：ALBATROSS-TT儀器。上圖：儀器的細節(jié)，左下圖：控制散射的軟件，右下圖：金剛石折轉反射鏡顯示的結果
2.說明書
• 測量散射光(ARS, BRDF, BTDF)、R和T
• 3D球面測量能力
• 完整的外殼
• 自動化軸（極角、方位角、入射角）
O 角分辨率：<0.001°
O 測角精度：<0.02° (2D), 0.1° (3D)
O 調整范圍（參見圖2的說明）：
￭ 極角 ：-270° .. +270°
￭ 方位角 ：- 90° .. + 90°
￭ 入射角 ：- 90° .. + 90°
樣品調整：
O 3個平移軸和3個旋轉手動軸
O 調整范圍：
￭ X, Y, Z：-12.5 mm .. +12.5 mm
￭ ：360°
￭ ：±2.5°
• 最大樣品規(guī)格：
O 最大承重：1 kg
O 最大尺寸：ø200 mm x 100 mm
• 光源：
O 標準： Nd:YAG，532 nm
O 選項1：一個額外的光源
O 選項2：兩個額外的光源
O 額外光源的規(guī)格
￭ 布局：緊湊型激光頭
￭ 波長：λ =200 nm到850 nm（依照需要還有其它波長）
￭ 即（λ以nm為單位）：375, 405, 422, 445, 473, 488, 520, 552, 561, 640, 660, 685, 730, 785
O 由軟件自動切換光源
O 在不同的波長λ處進行仿真測量
O 根據(jù)要求還有其它的一些選項
• 偏振
O 照明：原形偏振光，S、P偏振光
O 檢測器：不帶偏振特性的。S、P偏振特性的
• 互換孔徑：0.2°到 2°（全孔徑角），對應于立體角分別為 10-05 sr和 10-03sr
• 近角限制： 0.2°
• 動態(tài)范圍：放大量級大于13階（參見圖4）
• 等效噪聲ARS：<10-08sr-1
3.更多的組件
• 自動控制軟件„ScatterControl”
O 直接軸向控制
O 自動程序校準和測量
O 數(shù)據(jù)圖
O 數(shù)據(jù)導出(ASCII, JPG, …)
• 用戶手冊（包含樣品螺紋安裝電網的機械制圖）
• PC、顯示器、鼠標和鍵盤（Windows 7或更高版本的）
• 安裝在用戶的網站上，高達三個員工三個工作日的簡報
• 選項4：緊湊強大型的集合式儀器的表框組件、PC和顯示器（參見圖3） |
