•對反射和透射監(jiān)控計算光學信號
•當膜層沉積時，動態(tài)加工因子（Dynamic Tooling Factors）可以不同
•信號數(shù)據(jù)可以適應(yīng)自定義范圍
•對每個膜層，監(jiān)控波長和帶寬都可以改變
•對每個膜層可以用不同的校驗芯片
•Monitorlink 可以將沉積設(shè)計反映到光學和晶體監(jiān)控上
•監(jiān)控數(shù)據(jù)的圖表可以為手動監(jiān)控打印出來
Runsheet和Monitorlink特點
RUNSHEET操作
要建立一個runsheet, 在Essential Macleod中打開一個空白表格, 指定設(shè)計和機器配置，然后點Calculate。 Runsheet會自動指定光源、使用加工因子，計算信號。用戶可以改變所以參數(shù)中任何一個，如指定光源、監(jiān)控芯片、波長、帶寬。點擊Calculate，run sheet立即更新。除了計算機的容量以外，對膜層數(shù)、芯片數(shù)等沒有實際限制。
Runsheet計算信號偏移的表格和曲線。通過可以應(yīng)用到單個膜層的0偏移和放大的控制，可以適應(yīng)自定義的范圍。根據(jù)信號的水平和最后一個峰－峰偏移的比例，表格中出現(xiàn)膜層終止信息。
直接修改監(jiān)控參數(shù)，所以在實際沉積以前可以評估不同的監(jiān)控計劃。Runsheet上的信息還可以拷貝到剪貼板，用于其它的處理和其它應(yīng)用格式。每個run sheet存成單獨的文件。重新調(diào)用時，Runsheet 檢查后續(xù)的材料數(shù)據(jù)或機器配置的任何變化，給出適當?shù)木妗?/p>
機器配置
生產(chǎn)沉積計劃的第一步是描述鍍膜機，這一步對每臺機器只需要做一次，在Machine Configuration編輯器上輸入。相關(guān)的信息包括機器可以提供的材料和來源的名稱, 對光學監(jiān)控器, 可以提供的每種不同類型的芯片和其光學參數(shù)，監(jiān)控硬件的有些物理設(shè)置的細節(jié)；對晶體監(jiān)控器，晶體控制器的工作單位。在一個機器配置中，可以同時存在光學和晶體監(jiān)控器。
MONITORLINK
Monitorlink允許Essential Macleod和指定的沉積控制器通信。它將控制器的知識加到Essential Macleod中去, 包括控制器能夠?qū)嶋H執(zhí)行沉積程序的能力，也可以將程序裝載到控制器中去。
如果控制器沒有合適的PC設(shè)置程序，則Monitorlink也包括它的設(shè)置程序，它可以管理它們之間的通信。對光學控制器，要求Runsheet enhancement；對晶體控制器，Runsheet enhancement 是可選項。
當Runsheet存在時，動態(tài)加工因子應(yīng)用到膜層厚度上。沒有Runsheet時,晶體控制器裝載未修改的設(shè)計厚度。因為它們的操作和約束中不同，Monitorlink必須為指定的控制器定做。 |
