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共聚焦掃描顯微鏡的工作原理

摘要
 

共聚焦掃描顯微鏡在 1950 年代由 M. L. Minsky 發(fā)明并獲得專(zhuān)利，后來(lái)又以采用激光作為光源的新穎性獲得了廣泛的應(yīng)用。 通過(guò)使用空間針孔來(lái)阻擋從焦平面外散射或反射的光，有助于提高縱向分辨率和對(duì)比度。 在本例中，我們?cè)赩irtualLab Fusion 中構(gòu)建了一個(gè)共聚焦掃描顯微鏡，并使用具有交替脊和凹槽的金屬光柵作為測(cè)試對(duì)象來(lái)演示其工作原理。
 

建模任務(wù) 

共聚焦掃描顯微鏡是如何工作的，它如何檢測(cè)物體橫向位移導(dǎo)致的功率變化？

 

焦點(diǎn)區(qū)域的探測(cè)場(chǎng)
 

 

測(cè)試對(duì)象的直接反射
 

 

測(cè)試對(duì)象的直接反射
 

 

測(cè)試對(duì)象的像
 

 

測(cè)試對(duì)象的像
 

 

功率測(cè)量與測(cè)試對(duì)象的橫向偏移