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嚴(yán)格分析和設(shè)計(jì)抗反射蛾眼結(jié)構(gòu)

摘要
 

  

對(duì)于許多光學(xué)應(yīng)用來說，抑制元件表面的反射是一個(gè)引人關(guān)注的問題。一種非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射納米和微米結(jié)構(gòu)，這些結(jié)構(gòu)受到自然界（如蛾眼）的啟發(fā)。這些結(jié)構(gòu)的特征尺寸處于亞波長領(lǐng)域，具有獨(dú)特的波長和角度依賴性質(zhì)。本文介紹了在VirtualLab Fusion中分析和設(shè)計(jì)確定性抗反射結(jié)構(gòu)的方法。

 

設(shè)計(jì)任務(wù)

 

 

連接建模技術(shù)：蛾眼結(jié)構(gòu)

  

 

光柵階數(shù)分析器

  

 

元件內(nèi)場分析器：FMM

 

 

參數(shù)運(yùn)行

 

 

參數(shù)優(yōu)化

 

 

模擬結(jié)果

 

通過計(jì)算器進(jìn)行參考測量 

 

 

結(jié)構(gòu)內(nèi)的場

 

 

 

在參數(shù)空間中掃描以獲取初始解決方案 

 

 

初始解決方案 #1 的參數(shù)優(yōu)化 

 

 

最終設(shè)計(jì) #1 的性能分析 

 

初始解決方案 #2 的參數(shù)優(yōu)化

 

 

最終設(shè)計(jì) #2 的性能分析