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非傍軸衍射分束器的設(shè)計(jì)與嚴(yán)格分析
時(shí)間:2023-11-14 17:20來(lái)源:訊技光電作者: 技術(shù)部點(diǎn)擊:次打印
摘要
 
  
非傍軸衍射光束分束器的直接設(shè)計(jì)仍然是一個(gè)挑戰(zhàn)。由于衍射角度相當(dāng)大,元件的特征尺寸與光的波長(zhǎng)相近。因此,通常使用的傍軸建模方法變得不準(zhǔn)確,需要嚴(yán)格的技術(shù)。因此,在這個(gè)例子中,迭代傅里葉變換算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射光學(xué)元件(DOE)的初步設(shè)計(jì),并且之后使用傅里葉模式方法(FMM)也稱為嚴(yán)格耦合波分析(RCWA)進(jìn)行嚴(yán)格的性能評(píng)估,包括在高度變化的情況下對(duì)優(yōu)點(diǎn)函數(shù)變化的研究。
 
任務(wù) 
• 使用傍軸近似(TEA)進(jìn)行衍射1:7×7光束分束器的初步設(shè)計(jì),用于結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)部分。
• 使用嚴(yán)格分析(FMM/RCWA)對(duì)性能進(jìn)行分析和進(jìn)一步優(yōu)化,以提高均勻性并評(píng)估零階的影響。
 
 
模擬與設(shè)置:工具簡(jiǎn)介與整體流程概覽
連接建模技術(shù):衍射光束分束器
  

 
通過(guò)配置助手和IFTA進(jìn)行相位設(shè)計(jì)
 
 
將傳輸函數(shù)轉(zhuǎn)化為結(jié)構(gòu)
 
 
衍射光束分束器表面
 
 
衍射光束求解器 - TEA & FMM
 
 
光柵級(jí)數(shù) & 可編程光柵分析器
 
 
設(shè)計(jì)與評(píng)估結(jié)果
• 相位函數(shù)設(shè)計(jì)
• 結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
• TEA 評(píng)估
• FMM 評(píng)估
• 高度縮放檢查(用于優(yōu)化/容限)
 
僅相位傳輸設(shè)計(jì)
 
 
結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
 
 
使用TEA進(jìn)行性能評(píng)估
 
 
使用FMM進(jìn)行性能評(píng)估
 
 
進(jìn)一步的分析(優(yōu)化后,容差分析)
 

 
進(jìn)一步優(yōu)化 - 調(diào)整設(shè)計(jì)#1的零階
 
 
進(jìn)一步優(yōu)化 - 調(diào)整設(shè)計(jì)#2的零階
 
 
進(jìn)一步優(yōu)化 - 調(diào)整設(shè)計(jì)#3的零階
 
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