摘要
直接設(shè)計(jì)非近軸衍射分束器仍然是一個(gè)挑戰(zhàn)。由于衍射角相當(dāng)大，元件的特征尺寸與工作波長在相同的數(shù)量級上。因此，設(shè)計(jì)過程超出了近軸建模方法。因此，在這個(gè)例子中，迭代傅里葉變換算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)，和傅里葉模態(tài)方法(FMM)隨后應(yīng)用于嚴(yán)格的性能評估。
設(shè)計(jì)任務(wù)
光柵級次分析模塊設(shè)置
使用常規(guī)的分束器會(huì)話2編輯器，VirtualLabFusion提供了一個(gè)指導(dǎo)工具，允許用戶一步一步地指定所有影響分束器設(shè)計(jì)的參數(shù)。
將傳輸函數(shù)轉(zhuǎn)換為結(jié)構(gòu)
1. 通過應(yīng)用設(shè)計(jì)帶中的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，所得到的傳輸函數(shù)可以轉(zhuǎn)換為結(jié)構(gòu)輪廓。
2. 對于此轉(zhuǎn)換，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的結(jié)構(gòu)與初始相位函數(shù)成正比。
3. VirtualLab Fusion提供計(jì)算出的形式已經(jīng)預(yù)設(shè)在光路中。
4. 要在不同的模擬場景中使用這種結(jié)構(gòu)，需要從組件內(nèi)部獲取實(shí)際的采樣表面或指定的堆棧。
衍射分束器表面
衍射光束求解器-薄元素近似(TEA)
光柵級次和可編程光柵分析儀
光柵級次分析儀提供了所有衍射階的效率的概述，作為許多可能的輸出。
使用可編程光柵分析儀，用戶可以指定應(yīng)計(jì)算的值。
例如:總效率、均勻性誤差、0階效率
設(shè)計(jì)與評估結(jié)果
- 相位功能設(shè)計(jì)
- 結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
- TEA評價(jià)
- FMM評估
- 高度標(biāo)度（公差）
純相位傳輸設(shè)計(jì)
結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
進(jìn)一步分析
•高度剖面的縮放對零階有很大影響。
•可以利用這一點(diǎn)來糾正零階不期望的效率，從而改善均勻性。
•參數(shù)運(yùn)行是執(zhí)行此類調(diào)查的最佳工具。
使用TEA進(jìn)行性能評估
使用FMM進(jìn)行性能評估
進(jìn)一步優(yōu)化–設(shè)計(jì)#1的零階階次優(yōu)化
進(jìn)一步優(yōu)化–設(shè)計(jì)#2的零階階次優(yōu)化
進(jìn)一步優(yōu)化–設(shè)計(jì)#3的零階階次優(yōu)化
VirtualLab Fusion技術(shù)
文檔信息
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