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集成微透鏡陣列的CMOS傳感器分析
時間:2021-02-08 10:47來源:訊技光電作者: 技術(shù)部點(diǎn)擊:次打印
1. 摘要

在最近的幾十年里,COMS傳感器的像素尺寸由最初大于10um以發(fā)展至2um,甚至更小。通過減小像素尺寸以獲得更高的空間分辨率。與此同時,這也為覆蓋在每個像素上的微透鏡的功能帶來了疑問。在此示例中,我們研究了像素大小等于或小于2um CMOS傳感器的性能。 并在仿真分析中采用嚴(yán)格的FMM / RCWA以檢測微透鏡的有效性。  
 
2. 建模任務(wù)
 
采用的幾何參數(shù)來自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
 


采用的幾何參數(shù)來自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
 
 
3. 2 um像素的微透鏡陣列(X-Z截面仿真)

  
4. 1.8 um像素的微透鏡陣列(X-Z截面仿真)

 
5. 1.6 um像素的微透鏡陣列(X-Z截面仿真)

 
6. 3D仿真與結(jié)果對比

 
7. 走進(jìn)VirtualLab Fusion

 
8. VirtualLab Fusion的工作流程

構(gòu)造光柵結(jié)構(gòu)
- Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [應(yīng)用案例]
- Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [應(yīng)用案例]
計算光柵結(jié)構(gòu)內(nèi)部的場分布

 
9. VirtualLab Fusion技術(shù)
 


10. 文件信息

 
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