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用于光學(xué)檢測的斐索干涉儀

摘要

 

斐索干涉儀是工業(yè)上常用的一種光學(xué)測量儀器，常用于高精度的光學(xué)表面質(zhì)量檢測。利用VirtualLab Fusion的非序列追跡技術(shù)，我們建立了斐索干涉儀，并將其用于測試不同的光學(xué)表面，如柱面和球面，可以發(fā)現(xiàn)由此產(chǎn)生的干涉條紋對表面輪廓很敏感。

 

建模任務(wù)

 

觀測傾斜平面

 

觀測柱面

 

觀測球面

 

走進VirtualLab Fusion

 

VirtualLab Fusion的工作流程

 設(shè)置輸入場

- 基本光源模型 [教學(xué)視頻] 

 使用表面構(gòu)造真實元件

 

 定義元件的位置和方向

- LPD II：位置和方向 [教學(xué)視頻] 

 為非序列場追跡設(shè)置合適的通道

- 非序列場追跡的頻道設(shè)置 [用例] 

 

VirtualLab Fusion技術(shù)

 

文件信息

 

延伸閱讀
- 基于激光的邁克爾遜干涉儀和干涉條紋探測

- 馬赫-澤德干涉儀