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具有變化周期的亞波長光柵成像

時間:2019-04-12 15:07來源:訊技光電作者: 技術(shù)部點(diǎn)擊:次打印

摘要

當(dāng)用近軸光照明時，亞波長光柵僅產(chǎn)生一個衍射級，因此在這種情況下無法成圖像。為了克服這一問題，可以使用非傍軸照明。如在此示例中，采用高NA聚光透鏡來為具有不同周期的光柵提供高度聚焦的照明，并且該衍射場將由另一個高NA物鏡采集。VirtualLab可以模擬這樣的成像過程，包括使用傅立葉模態(tài)法對亞波長光柵進(jìn)行嚴(yán)格模擬。

1. 建模任務(wù)

2. 結(jié)果

3. 文件和技術(shù)信息

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