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光學斷層掃描干涉法

時間:2018-05-30 14:04來源:訊技光電作者: 技術部點擊:次打印

摘要

掃描干涉法是實現表面高度測量的技術。通過利用白色光源的低相干性，只有當光程差在相干長度內，干涉圖案才會出現。因此，它使精確微觀測量成為可能。使用一個氙燈搭建了一個邁克耳孫干涉儀，用于測量具有平滑變化前表面的樣品。

建模任務

結果

文件信息

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