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不同輪廓亞波長(zhǎng)光柵的成像

時(shí)間:2018-04-09 11:24來(lái)源:訊技光電作者: 技術(shù)部點(diǎn)擊:次打印

1. 摘要

亞光波長(zhǎng)光柵在用傍軸光照射時(shí)僅產(chǎn)生一個(gè)衍射級(jí)，因此在這種情況下不會(huì)形成圖像。為了克服此問(wèn)題，可以使用非傍軸照明。在本例中，高NA聚光透鏡被用來(lái)為不同輪廓的光柵提供高聚焦照明，衍射場(chǎng)被另一個(gè)高NA物鏡收集。 VirtualLab可以模擬這種成像過(guò)程，包括用傅立葉模態(tài)法精確模擬亞波長(zhǎng)光柵。

2. ·建模任務(wù)

3. 結(jié)果

4. 文件和技術(shù)信息

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