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檢查微型晶片的光學(xué)系統(tǒng)

時(shí)間:2018-01-19 11:55來源:訊技光電作者: 技術(shù)部點(diǎn)擊:次打印

成像系統(tǒng)>包括光柵

任務(wù)/系統(tǒng)說明

亮點(diǎn)

 在復(fù)雜光學(xué)系統(tǒng)中，包含光柵（如，非常大的數(shù)值孔徑(NA)）

 嚴(yán)格分析光柵衍射效率

 考慮入射光的方向分布

說明：光源

說明：光束分束器

說明：檢測透鏡系統(tǒng)

說明：微型晶片

說明：檢測物鏡

說明：探測器

結(jié)果：3D光線追跡（只有0級）

結(jié)果：3D光線追跡（所有級）

結(jié)果：光線追跡

結(jié)果：場追跡

結(jié)果：線性偏振光的場追跡

文檔和技術(shù)信息

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