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導(dǎo)出制造數(shù)據(jù)

時間:2017-09-13 21:54來源:訊技光電作者: 技術(shù)部點擊:次打印

光整形>衍射光學(xué)

任務(wù)說明

靈活地導(dǎo)出制造數(shù)據(jù)：

- 平滑的界面

- 量化界面

- 鏡子/棱鏡/光柵單元陣列

亮點

 導(dǎo)出各種表面形狀的制造數(shù)據(jù)

 導(dǎo)出像光刻制造技術(shù)的二元掩膜的量化界面

一般界面的制造數(shù)據(jù)

支持文件格式：

- 純文本

- ASCII碼

- 點云

- CAD格式（例如，STL，IGES）

STL導(dǎo)出平滑界面（例如Asphere）

采樣高度剖面的STL導(dǎo)出

量化界面的GDSII導(dǎo)出

 量化的界面數(shù)據(jù)可以直接導(dǎo)出到GDSII的文件格式。

 這個文件格式主要是用于，如光刻曝光技術(shù)。

文檔和技術(shù)信息

PC用于模擬的規(guī)格

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