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光柵結(jié)構(gòu)中場(chǎng)分布的嚴(yán)格分析
時(shí)間:2016-06-07 23:01來(lái)源:訊技光電作者: 技術(shù)部點(diǎn)擊:次打印
案例024(3.0)

該案例主要說(shuō)明了周期性結(jié)構(gòu)內(nèi)電磁場(chǎng)分布的嚴(yán)格計(jì)算。出于此目的,研究了兩種不同的系統(tǒng):具有狹縫的矩形光柵和具有三角形狀的介質(zhì)光柵(等腰三角形)。
 
1. 建模任務(wù)1:金屬光柵

在Ey (TE)偏振光照明下的光柵內(nèi)部場(chǎng)分布的嚴(yán)格仿真。
對(duì)于這個(gè)仿真,采用傅里葉模態(tài)法。
 
2. 建模任務(wù)2:介質(zhì)光柵
在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光柵內(nèi)部場(chǎng)分布的嚴(yán)格仿真。
對(duì)于這個(gè)仿真,采用傅里葉模態(tài)法。
 
3. 建模任務(wù)

VirtualLab的光柵工具箱提供了場(chǎng)內(nèi)部分量分析器,用戶可以對(duì)光柵結(jié)構(gòu)中的電磁場(chǎng)分布進(jìn)行嚴(yán)格計(jì)算。
通過(guò)該分析器,可以對(duì)任意形狀的光柵進(jìn)行研究。
場(chǎng)分布計(jì)算能夠檢測(cè)結(jié)構(gòu)內(nèi)部的熱點(diǎn)

4. TE和TM照明線性光柵
 
5. 鉻狹縫的分析

通過(guò)計(jì)算場(chǎng)分量,可描述多種場(chǎng)量,如振幅、位相、振幅平方。
左圖顯示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,這是唯一一個(gè)不為零的場(chǎng)量。
對(duì)于金屬結(jié)構(gòu),由于集膚效應(yīng),場(chǎng)合能量主要位于狹縫(空氣)內(nèi)。
紅線說(shuō)明了結(jié)構(gòu)的形狀(手動(dòng)添加)
 
6. 三角光柵的分析
左圖為三角介質(zhì)光柵,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。

如果是介質(zhì)光柵結(jié)構(gòu),場(chǎng)合能量主要集中在光柵脊內(nèi)。
由于三角高度輪廓是在x-z平面內(nèi)變化,電場(chǎng)的y分量幾乎沒(méi)有影響。
紅線說(shuō)明了結(jié)構(gòu)的形狀(手動(dòng)添加)。
左圖顯示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
與TE偏振光照明對(duì)比,由于三角光柵形狀,場(chǎng)和能量分布受到強(qiáng)烈的影響。
紅線說(shuō)明了結(jié)構(gòu)的形狀(手動(dòng)添加)。
 
7. 總結(jié)
 
VirtualLab的光柵工具箱能夠?qū)θ我庑螤罟鈻沤Y(jié)構(gòu)進(jìn)行嚴(yán)格分析。
內(nèi)部場(chǎng)分量分析器允許計(jì)算所研究光柵結(jié)構(gòu)內(nèi)部的所有電磁場(chǎng)分量。
對(duì)于該類型的計(jì)算,VirtualLab采用全矢量傅里葉模態(tài)法。
光柵內(nèi)部場(chǎng)分布的研究能夠進(jìn)行熱點(diǎn)識(shí)別(高能密度),如果采用高能光源,這些熱點(diǎn)可能損壞元件。
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