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光柵的分析和優(yōu)化(2)

 

減反光柵的設(shè)計(jì)
 

 可以用二維和三維光柵來設(shè)計(jì)防反射結(jié)構(gòu)。VirtualLab為光柵和可編程分界面提供了廣泛的模版，為描述用戶自定義光柵結(jié)構(gòu)提供了無限制的靈活性。參數(shù)運(yùn)行和參數(shù)優(yōu)化可用于給定目標(biāo)函數(shù)條件下的結(jié)構(gòu)優(yōu)化，例如要求反射率最小。 
 

光柵和反射率取決于立柱結(jié)構(gòu)的直徑：反射率最低在140納米處
 

例如枕型亞波長(zhǎng)光柵可以被用來控制一個(gè)表面的反射率。VirtualLab提供了傅立葉模式法來分析與優(yōu)化3D光柵結(jié)構(gòu). 還可對(duì)其它更多的參數(shù)進(jìn)行考察，如波長(zhǎng)。 
 

偏振光柵的設(shè)計(jì)
 

光柵可以用來控制透射光的偏振。VirtualLab可以設(shè)計(jì)這種偏振光柵。
 

對(duì)于可見光的光譜（左），用于改變狹縫寬度和矩形光柵的調(diào)制深度的最低偏振對(duì)比度可以被計(jì)算（右）。
 

利用偏振分析器，可以計(jì)算可見光的整個(gè)光譜范圍的偏振對(duì)比度。這使得我們可以對(duì)光柵在x軸和電場(chǎng)的y分量之間的對(duì)比度進(jìn)行優(yōu)化。對(duì)于矩形光柵，可以計(jì)算出狹縫寬度和調(diào)制深度的最優(yōu)值。
 

光學(xué)系統(tǒng)中的光柵
 

光柵也可以用作光學(xué)系統(tǒng)，如成像系統(tǒng)或晶圓檢查系統(tǒng)。在這種情況下，光柵被一般的入射光照射。這需要將模型從理想無限的平面波推廣到一般的平面波。
 

成像系統(tǒng)具有一個(gè)光柵元件
 

這種系統(tǒng)的模擬是基于VirtualLab場(chǎng)追跡的方法。在一個(gè)模擬計(jì)算中集合不同的模擬技術(shù)。亞波長(zhǎng)光柵使用FMM進(jìn)行嚴(yán)格分析。在低發(fā)散入射波的情況下可以使用快速的旁軸近似方法。對(duì)于特殊的應(yīng)用可以使用可編程元件來發(fā)揮用戶自定義方法的靈活性靈活性。