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鍍膜正弦光柵中光衍射的精確模擬(2)

 

選擇Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,點選Stack01_632.8nm。選擇OK關閉對Edit Coating Tool話框。

 

 

堆棧編輯器包含頂層表面的膜層。點擊OK關閉堆棧編輯器。點擊底部的OK按鈕來關閉元件對話框。使用光柵效率分析器分析光柵。

 

 

X線偏振光模擬結果：

 

探測器主窗口中可以看到結果信息，鍍膜后的反射率顯著加強。

在Ideal Plane Wave 光源編輯對話框中改變偏振態(tài)為y方向線偏光。這里有兩個預先設置好的例子文件來演示y線偏光。
 

 

Y線偏光模擬結果

 

 

對于y線偏光同樣鍍膜會顯著增加反射率。

結論：

嚴格的鍍膜光柵模擬需要將膜層定義為序列的表面。光柵工具箱允許分析使用VirtualLabTM自帶的膜層庫中的膜層鍍膜效果。VirtualLabTM可以考慮膜層在法矢方向上厚度的減小，這是加工過程中經(jīng)常出現(xiàn)的問題。