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如何在PanDao軟件中輸入形狀精度參數(shù)？

PanDao軟件當(dāng)前可以接受ISO10110標(biāo)準(zhǔn)定義的形狀精度參數(shù)格式3/A(B)，其中A代表功率公差，B代表不規(guī)則性。

 

測(cè)量單位是條紋數(shù)，表示的是波前偏差（非表面高度偏差），該方法源自光學(xué)大師手工拋光制作測(cè)試板（T）進(jìn)行面形偏差測(cè)量的傳統(tǒng)技術(shù)（該檢測(cè)裝置也見于斐索干涉儀中）。

 

被測(cè)表面(S)的面形誤差（表面高度H）是通過將表面的形狀與測(cè)試板(T)的標(biāo)準(zhǔn)形狀（通常精度＜1/20波長）進(jìn)行對(duì)比測(cè)量得到的。具體方法是使測(cè)試板反射光(T')與待測(cè)面反射光(S')發(fā)生干涉，此時(shí)表面S的高度偏差H在干涉圖中表現(xiàn)為2*H（即波前差）。

 

PanDao軟件默認(rèn)以546.07nm波長（汞綠光譜線）讀取形狀精度參數(shù)3/A(B)。546.1nm波長的光是由汞蒸氣燈在電激發(fā)下產(chǎn)生的綠色發(fā)射譜線，在激光技術(shù)問世前廣泛應(yīng)用于光學(xué)檢測(cè)、對(duì)準(zhǔn)及校準(zhǔn)。根據(jù)ISO10110標(biāo)準(zhǔn)，用戶可通過修改3/@lambda中的相關(guān)條目來自由設(shè)定其它檢測(cè)波長。

例如，當(dāng)不規(guī)則性B對(duì)應(yīng)的高度偏差H為1微米時(shí)，B = (1000/546.07)*2 = 3.66條紋；若功率誤差對(duì)應(yīng)高度偏差為2微米，則該表面的形狀精度參數(shù)為3/7.32(3.66)。